Pracovní princip potahovacího stroje s více obdaly

Povlakovací stroj s více znaky generuje vysokoteplotní plazmu prostřednictvím více zdrojů oblouku (4-16), odpařuje kovový materiál a ukládá jej na povrch substrátu, aby se dosáhlo účinného povlaku (tloušťka filmu ± 5%). Její jádro vakuová komora je rozdělena do povlakové komory (vakuový stupeň menší nebo roven 10^-3pa) a komoře před léčbou. První zajišťuje prostředí s nízkým obsahem imparitu a druhý se používá pro čištění a leštění substrátu ke zlepšení adheze. Mezi klíčové procesní parametry patří zdrojový výkon ARC (20-200A), teplota substrátu (100-300 stupňů) a rychlost depozice (1-10NM/s), které je třeba dynamicky upravovat podle tvaru substrátu (jako jsou komplexní zakřivené povrchy) a materiál (kov/keramická). Je vhodný pro scény, jako je protireflexní film optického čočky a tvrdý nátěr nástrojů.