Požadavky na pracovní prostředí na vakuovém potahovacím stroji

Vakuové povlakové stroje odkazuje hlavně na povlak, který je třeba provádět pod vysokým vakuem, včetně vakuového iontů odpařování, magnetronového rozprašování, epitaxy molekulárního paprsku, depozice laserového rozprašování PLD a mnoha dalších typů. Jeho hlavní myšlenka je rozdělena na odpařování a rozprašování.
Požadavky na pracovní prostředí na vakuovém potahovacím stroji:
Vysavací vybavení by mělo fungovat za vakuových podmínek, takže zařízení by mělo splňovat požadavky vakua pro životní prostředí. Požadavky na vakuum pro životní prostředí obecně zahrnují požadavky vakuového zařízení pro laboratorní (nebo dílnu) teplotu, vzduch a další částice v okolním prostředí a požadavky na části nebo povrchy ve vakuu nebo vakuu.
Tyto dva aspekty jsou úzce spjaty. Okolní prostředí přímo ovlivňuje normální používání vakuového zařízení; Zda je vakuová komora nebo díly instalované ve vakuovém zařízení čisté, přímo ovlivňuje výkon zařízení. Pokud je ve vzduchu hodně vodní páry a prachu, je obtížné dosáhnout očekávaného stupně vakua čerpáním mechanickým čerpadlem upevněným olejem bez čištění vakuové komory. Je dobře známo, že mechanická čerpadla utěsněná olejem by neměla čerpat plyny obsahující prach částic, který je korozivní pro kovy a reaktivní na vakuový olej. Vodní pára je kondenzovatelný plyn. Když je čerpáno velké množství kondenzovatelného plynu, bude znečištění oleje čerpadla vážnější. Proto bude konečné vakuum čerpadla sníženo a čerpací výkon čerpadla bude narušen.
Prach v průmyslovém prostředí je charakterizován práškovými těly, bez názvu oči a prach. Prášek je látka ve stavu agregace nebo rozptylu prášku nebo pevných částic. Takzvaný prášek se týká sbírky malých pevných částic a částice se vztahují na malé látky, které lze spočítat jeden po druhém. Kouř je materiální systém, ve kterém existují malé částice pevné nebo kapaliny v plovoucím stavu v plynu. Látky v granulárním stavu, ať už pevné nebo kapalné, jsou společně označovány jako prachové částice. Standard čistoty vzduchu je určen velikostí velikosti prachu, čímž se přizpůsobuje čistou třídu místnosti. To se nevztahuje pouze na průmyslové sektory s čistými požadavky, ale také na vakuové požadavky na čisté prostředí.