Ačkoli existuje mnoho typů iontových zdrojů, jejich účel je v podstatě stejný: online čištění, zlepšení distribuce energie na pokoveném povrchu a modulace energie reakčního plynu. Iontové zdroje mohou výrazně zlepšit pevnost spojení mezi fólií a substrátem a zároveň zlepšit tvrdost fólie a odolnost proti opotřebení a korozi. Pro vrstvy odolné proti opotřebení{2}} nástrojů, které jsou obecně silnější a nevyžadují vysokou rovnoměrnost tloušťky filmu, lze použít iontové zdroje s vyššími iontovými proudy a energií, jako jsou Hallovy iontové zdroje nebo anolytové iontové zdroje.
Anodické iontové zdroje fungují na principu podobném Hallovým iontovým zdrojům. V úzké prstencové (pravoúhlé nebo kruhové) štěrbině působí silné magnetické pole, které působením anody ionizuje pracovní plyn a směřuje jej k obrobku. Anodické iontové zdroje mohou být vyrobeny velmi velké a dlouhé, což je činí zvláště vhodnými pro povlakování velkých obrobků, jako je architektonické sklo. Nabízejí také poměrně velký iontový proud. Jejich iontový proud je však difúznější a rozložení energetické hladiny je příliš široké. Obecně jsou vhodné pro velké obrobky, sklo, abrazivní povrchy a dekorativní součásti. Jejich aplikace v pokročilých optických povlakech však není rozšířená.
Ačkoli existuje mnoho typů iontových zdrojů, jejich účel je v podstatě stejný: online čištění, zlepšení distribuce energie na pokoveném povrchu a modulace energie reakčního plynu. Iontové zdroje mohou výrazně zlepšit pevnost spojení mezi fólií a substrátem a zároveň zlepšit tvrdost fólie a odolnost proti opotřebení a korozi. Pro vrstvy odolné proti opotřebení{2}} nástrojů, které jsou obecně silnější a nevyžadují vysokou rovnoměrnost tloušťky filmu, lze použít iontové zdroje s vyššími iontovými proudy a energií, jako jsou Hallovy iontové zdroje nebo anolytové iontové zdroje.
Anodické iontové zdroje fungují na principu podobném Hallovým iontovým zdrojům. V úzké prstencové (pravoúhlé nebo kruhové) štěrbině působí silné magnetické pole, které působením anody ionizuje pracovní plyn a směřuje jej k obrobku. Anodické iontové zdroje mohou být vyrobeny velmi velké a dlouhé, což je činí zvláště vhodnými pro povlakování velkých obrobků, jako je architektonické sklo. Nabízejí také poměrně velký iontový proud. Jejich iontový proud je však difúznější a rozložení energetické hladiny je příliš široké. Obecně jsou vhodné pro velké obrobky, sklo, abrazivní povrchy a dekorativní součásti. Jejich aplikace v pokročilých optických povlakech však není rozšířená.
Hallův iontový zdroj v avakuový lakovací strojionizuje procesní plyn za pomoci silného axiálního magnetického pole. Silná nerovnováha tohoto axiálního magnetického pole odděluje ionty plynu a vytváří iontový paprsek. Vzhledem k síle axiálního magnetického pole potřebuje iontový paprsek zdroje Hallových iontů další elektrony k neutralizaci toku iontů. Běžným neutralizačním zdrojem je wolframové vlákno (katoda).
