Úvod do principu potahování vakuových trubek ve vakuových potahovacích strojích

Dec 31, 2025

Zanechat vzkaz

PVD coating machine

 

Princip vakuového potahování ve vakuových potahovacích strojích spočívá v tom, že elektrony, urychlené směrem k substrátu vlivem elektrického pole, se srážejí s atomy argonu, přičemž se ionizují na velké množství argonových iontů a elektronů. Elektrony pak letí směrem k substrátu. Ionty argonu, urychlované elektrickým polem, bombardují materiál terče a rozprašují velké množství atomů terče, které se jako neutrální atomy terče (nebo molekuly) ukládají na substrát a vytvářejí film. Sekundární elektrony jsou během svého urychlování směrem k substrátu ovlivněny Lorentzovou silou magnetického pole a jsou omezeny na oblast plazmatu blízko cílového povrchu. Tato oblast má vysokou hustotu plazmatu a sekundární elektrony se vlivem magnetického pole pohybují kruhovým pohybem po povrchu cíle.

 

Tato dlouhá dráha pohybu zahrnuje nepřetržité srážky s atomy argonu, které se ionizují na velké množství argonových iontů, které bombardují cílový materiál. Po vícenásobných srážkách elektrony postupně ztrácejí energii, uvolňují se z magnetických siločar, vzdalují se od cílového materiálu a nakonec se ukládají na substrát. Nyní, s přidáním středofrekvenčního magnetronového rozprašovacího terče, jsou vypařující se molekuly filmu urychlovány a bombardovány materiálem terče působením elektrického pole, čímž se rozpráší velké množství terčových atomů.

 

Neutrální cílové atomy (nebo molekuly) se ukládají na substrát za vzniku filmu, který řeší problém typů filmů, které v minulosti nebylo možné zpracovat přirozeným odpařováním, jako je titanové pokovování, zirkoniování atd.

 

V současné době se ve vakuových trubicích běžně používají hliníkové-kompozitní fólie. Celá fólie se skládá ze tří vrstev: vnitřní, střední a vnější, z nichž každá má svou vlastní funkci. Vnitřní vrstva je reflexní vrstva, jejíž hlavní funkcí je zabránit sálání tepla z horké vody v trubici směrem ven.

 

Střední vrstva je absorpční vrstva, jejíž hlavní funkcí je absorbovat světelnou energii a přeměňovat ji na tepelnou energii.

Vnější vrstva je anti{0}}reflexní vrstva, jejíž hlavní funkcí je snížit odraz slunečního světla a zvýšit míru absorpce slunečního světla.

 

 

Odeslat dotaz
Kontaktujte násPokud máte nějakou otázku

Níže nás můžete kontaktovat pomocí telefonu, e -mailu nebo online formuláře. Náš specialista vás brzy kontaktuje.

Kontaktujte hned!